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· 특허 정보
ㆍCategory · Domestic
ㆍ특허자 · 성형진, 최정일
ㆍ특허명칭 · 실리콘 단결정 제조 장치 및 그를 이용한 실리콘 단결정의 제조 방법
ㆍ등록일자 · 1998. 6. 5
ㆍ등록처(국가) · Republic of Korea
ㆍ상태 · 출원